SWDB300/10型晶圆解键合设备气浮减震器设计解析
在精密制造领域，特别是晶圆解键合（Debonding）工艺中，设备的稳定性至关重要。SWDB300/10型晶圆解键合设备，为了实现亚微米级的精度控制，其气浮减震器的设计是核心技术之一。
核心设计理念：
低频隔振与高频阻尼并存： 气浮减震器主要利用空气作为介质，通过精确控制空气腔体的体积和阻尼特性，来隔离来自环境的低频振动（如地基沉降、设备运行产生的宏观震动）。通过特殊的阻尼结构（如多孔材料或精密节流孔），有效耗散高频振动能量，防止共振。
主动/半主动控制集成： 现代化的SWDB300/10设备，可能集成有半主动或主动控制系统。传感器实时监测振动，控制单元根据数据调整气阀或气囊压力，以动态补偿和抵消振动，实现更优越的隔振效果。
结构刚度与密封性： 气浮减震器的支撑结构需要有足够的刚度，以承载设备重量而不发生显著形变。精密的密封设计是保证气压稳定、防止漏气的关键，这直接关系到减震器的性能持久性。
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